可高精度并自动测试微细形状、段差、粗糙度的微细形状测定机。

英文资料：

Model Lineup

• ET200
• ET4000
• ET5000

ET200 

PDF catalog

ET200 is able to trace and analyze nano-level micro figures with high accuracy, appropriate for soften sample surfaces by controlling the measuring force.

ET4000 

Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected from a number of models according to applications.

• ·  ET4000A: Multifunctional and automatic
• ·  ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample
• ·  ET4000M: Reasonable, high performance and general-use

ET5000 

ET5000 can automatically measure large-size samples up to size 880 × 680 mm application with high accuracy. Loading\\Unloading sample stage is available an optional.

• ·  Used for fully automatic measurement of large size samples

Accessory list

• Interchangeable stylus
• Vibration absorbing table

日文资料：

机种一栏：

• ET200
• ET4000
• ET5000

ET200

PDFカタログ

二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度?高分解能?優れた安定性を実現、また、微少測定力で軟質試料面にも対応しています。

ET4000

精度?安定性?機能性抜群で、FPD基板?ウエハー?ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。

• ·  ET4000A???多機能な全自動微細形状測定機
• ·  ET4000L???大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
• ·  ET4000M???リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機

ET5000

サンプルサイズ880×680mmまでの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。また、サンプルのロード/アンロードできるオプションも用意されています。

• ·  全自動大型ワーク測定用。

付属品一覧

• 交換用スタイラス
• 防振台