水平式湿法刻蚀硅片清洗机供应商,首选苏州晶洲装备
苏州晶洲装备科技有限公司是一家集研发、设计、制造和销售为一体的专业太阳能、LED、半导体和液晶屏清洗设备供应商。
本文来源于:
刻蚀清洗机技术参数:
>设备型号:KZIC-T-ACW-06B
>设备规格:1400mm(L)*1000mm(W)*2000mm(H)
>设备类型:手动/半自动
>设备功能:适用于2寸~8寸晶圆刻蚀清洗
>设备特点:
1. 设备骨架为SUS304外包3mmPP,外壳采用德国进口PP-W板焊接;
2. 电控采用触摸屏/PLC控制,操作简单易学;
3. 刻蚀槽采用进口GE石英槽体,耐高温,耐强酸、强碱,洁净度高;
4. 石英加热槽采用5面体贴膜加热,药液升温稳定,均匀;
5. 槽体设置温度、液位监测装置;
6. QDR槽采用PP-N材质,槽体配备DI喷淋、溢流、鼓泡、漂洗等功能;
7. 药液槽配PTFE槽盖,有效防止药液挥发,污染;
8. 设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全;
>技术指标:
1. 整机功率:380V/50HZ/4KW;
2. 药液温度:RT~140℃±1℃可调;
3. 设备产能:25片/槽,50片/槽可按客户产能需求设计。
刻蚀清洗机请与我们联系,总机:0512-52992666