全自动单晶制绒酸洗综合设备
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单晶清洗设备的组成
一、单晶制绒机
1、单晶制绒槽式主体/一台
2、上下料台/各一个3、NaOH、IPA补液系统/一套4、纯水预热槽/一个5、电控柜/一个
二、酸洗机
1、酸洗槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、电控柜/一个
三、去PSG机
1、去PSG槽式主体/一台
2、上下料台/各一个
3、电控柜/一个
四、甩干机
单晶功能清洗设备功能介绍
单晶槽式制绒机:用碱性溶液(NAOH)清洗硅片表面的污 损, 并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。酸洗机:用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。去PSG机:用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。甩干机:先用水清洗硅片,再用热氮气去除硅片表面残留的液体。
工作流程
单晶制绒:上料台-NAHO预处理60S-DI水漂洗30S-NAOH.H2O2去损伤180S-DI水漂洗10S-DI水喷淋25S-DI水漂洗10S-HF酸洗10S-DI漂洗10S-NAOH、IPA、辅助剂制绒1100S-下料台
酸洗:上料台-HCL酸洗120S-HCL、HF酸洗120S-DI漂洗60S-下料台-DI水喷淋120S-DI水漂洗60S-DI水喷淋60S-甩干
去PSG:上料台-HF酸洗120S-DI水漂洗60S-甩干-下料台-DI水喷淋120S-DI水喷淋60S-上料-DI低速喷淋30S-高速吹N2180S-卸料
单晶制绒设备运行及操作
第一步:打开设备电控柜总电源,依次打开各功能电源开关
第二步:等待触摸屏显示后,进入主界面进行工艺参数设置,点击“参数设置进入”按钮后,弹出密码框,输入密码后,按“确认”按钮即可进入参数设置项。第三步:设置好工艺参数后,点击“返回”按钮,即可返回主菜单,然后点击“报警画面”,第四步:确认无报警后,再点击“监控画面”检查设备槽体的温度、液位是否达到标准,监控显示的花篮要与槽体里的一致。确认是否有报警。第五步:进入“主菜单”,点击“系统启动画面”第六步:将装好硅片的料篮放于上料台后,按开始按钮,即进行生产。
甩干机和酸洗机的使用也要注意规范。
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