室内温湿度要求

除满足特殊的生产工艺要求外，室内温湿度以穿着洁净的工作服不产生舒适感为宜。空气洁净度100级、10000级区域一般控制温度为20~40ºC，相对湿度45~60%；100000级区域一般控制温度为18~28ºC，相对湿度50~65%。

室内新鲜空气量要求

洁净室内应保持一定的新鲜空气量，以维持室内正压要求和人员的新风等要求。洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区之间以及洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

洁净室内的噪声级

动态测试不宜超过70db（A），噪声控制设计不得影响洁净室的净化条件。

生物洁净技术的特点

生物洁净技术的主要目的是控制细菌的滋生，避免交叉污染（或感染）是微生物控制领域的重点，它与工业洁净技术在实质和控制的机理上有着很大的不同。工业洁净室主要是控制尘埃的粒径和浓度，注重生产工艺的保护，控制粒径一般考虑为特征线宽的三分之一或更小，现在随着半导体行业的飞速发展，线宽不断的减小，高级别的控制粒径已经达到0.1Um或更小，因此工业洁净室的控制主要是以提高末端的过滤效率和增加换气次数，以达到控制室内尘埃浓度。而生物洁净技术申控制的微生物是活的粒子，会繁殖扩散，尽管有些微生物很小，但是由于其必须依附在尘粒上才能在空气正生存，不会单独存在，而是形成带菌粒子，其当量直径相对较大（通常认为其当量直径≥1Um），此时过滤效率已经不是主要的矛盾，细菌的繁殖和二次污染的控制才是实现无菌空间的最主要保证。研究表明，细菌滋生的必要条件是因营养源（尘埃）和水分（高湿度），还一基材的性质，因此控制微生物的污染，必须消除系统中所有可能存在细菌滋生的条件，抑制和降低细菌的发生，从而保证室内空间的空气品质。业务主管18820317702周生