洁净室之分类 1.乱流式(Turbulent Flow)： 　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 　　优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar)： 　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种： 　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 　　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 3.复合式(Mixed Type)： 　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 　　(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 　　(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 　　洁净工作台：等级Class 1~100级。 　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 欢迎登陆菲士能门户网站:www.foxchain.net

随着我国超大规模集成电路产业的发展，尤其是第五代TFT-LCD产业的发展，以及其它行业对空气净化要不熟的不断提高，洁净厂房的建设越来越多，净化级别不断提高，净化面积越来越大，而建设方对施工周期要求越来越短，合理的施工组织计是建设一个快速、合格的洁净厂房的保证。本文以某大型洁净生产厂房为例介绍洁净厂房安装工程过程中所采取的洁净保证措施。

1、大型超净厂房的结构特点

该洁净厂房采用目前国际上流行的新风机+FFU（风机过滤单元）+FCU（风机盘管）的形式，保证净化的循环风由FFU实现，房间内的温湿度由新风机组和FCU来保证，在空间立面上分成以下几个区域。

（1）下技术夹层：高度为5.3米，其主要用途为设置气体、给排水等动烽设备，敷设管道电气线路，放置新风机组和FCU等。地面涂层为环氧自流坪，四周用





金属壁板封闭。

（2）生产层：高度为5.4米，为工艺工用室、设备安装区，它是整个厂房的核心空气处于垂直层流状态的功能。活动地板铺设在井字梁上，井字梁表面用水性环氧涂料进行涂装处理。吊顶部分为格栅吊顶系统，局部铺高FFU，其余区域铺设盲板，与上静压箱层隔开。工作层四周金属壁板封闭与非洁净区隔开。

（3）静压箱层：高度为2.5米，对由经回风夹道进入区域的新风和回风的混合风进行均压处理，并经FFU加压过滤后送入工作区，同时在该区域设置了自动喷淋管道系统（工作层用）和电气系统。静箱层上部用夹芯金属板与上部钢屋架非净化部分分隔开来。