技术参数
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
测量方向: 向前/向后
直线度: 0.8μm / 100inch, 2μm / 200mm
* 以X 轴为水平方向上
指示精度: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)
(20ºC 时) ±(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 为驱动长度 (mm)
倾斜范围: ±45º
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 外加手动
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)
检测方法: 线性编码器 (CV-3100),
激光全息测微计 (CV-4100)
指示精度: ±(2+I4HI/100)μm (CV-3100)
(20ºC 时) ±(0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4100)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上/下运作: 弧形运动
测针方向: 向上/向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 87º
(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖: 半径: 25μm, 硬质合金针尖
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 220kg (W4)
140kg (S8), 150kg (H8), 220kg (W8)
控制装置: 14kg
遥控箱: 0.9kg
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (仅限主机)
三丰公司具有创新意义的
高精度激光全息光栅技
术,运用了衍射光干涉现
象,达到了近似干涉仪级
别的高精度,有效保证了
全部测量范围50 mm 内
高达0.05μm 的分辨率
全息测微计系统
批量校准功能
• 使用专用校准规,可同时进行设备的Z 轴
增益,对称及针尖半径的校准。特点
• 大幅度提高了驱动速度(X 轴:80mm/s, Z2
轴:20mm/s),近一步降低了总测量时间。
• 为了在一定时段内维持仪器的直线度规
格,三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦
性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
• 大量的外周设备选件支持CNC 模式,从
而可以很容易实现CNC 测量。
• 驱动装置(X 轴) 和立柱(Z2 轴) 中集成了高
精度线性编码器(Z2 轴为ABS 型),从而
提高了在垂直方向持续自动测量小孔和
不易定位工件的重复精度。
• X 轴精度: ±(0.8+0.01L)μm
Z1 轴精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm*,针对高
精度工件的测量所设计。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 为驱动长度,H 为测量高度(mm)
• CV-4100 系列的驱动装置集成了激光全息
测微计检测器,在Z 轴(垂直方向) 的窄/
宽测量范围内,提供卓越的精度和分辨
率。