技术参数
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大 CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
测量方向: 向前/向后
直线度: 2μm / 200mm
* 以X 轴为水平方向上
指示精度 (20ºC 时):
±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),
±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)
* L = 驱动长度 (mm)
a 轴
倾斜角度: -45º 或 +10º
分辨率: 0.000225º
倾斜范围: 6º/s
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大 CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
检测方法: 线性编码器 (CV-3000CNC)
激光全息测微计 (CV-4000CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20ºC 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上/下运作 : 弧形运动
测针方向: 向上/向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 70º, 向下: 70º
(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖: 半径: 25μm, 硬质合金针尖
Y 轴*
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度: 最大200mm/s (CNC 模式)
0~60mm/s (操纵杆控制模式)
台面最大承重 : 20kg
直线度 : 2μm/200mm
指示精度 (20ºC): ±(2-2L/100)μm
L = 任意两点间的长度 (mm)
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
(Y 轴工作台与振动隔离站的重量除外)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (仅限主机)特点
• 高精度CNC 轮廓/形状测量装置。
• X1, (Y) 和Z2 的驱动速度都高达200mm/s,
确保实现高速定位,从而大大提高了多
轮廓测量和多工件测量任务的速度。
• 带有a 轴的型号,可以通过电动旋转X1
轴连续测量水平面和倾斜面。
• CV- 4000CNC 系列的驱动装置集成了激光
全息测微计检测器,可以在Z 轴(垂直方
向) 的窄/宽范围内实现高精度和高分辨
率测量。
• 带有Y 轴的工作台的型号可以沿着Y 轴
进行多种工件定位,从而扩大了多工件
测量范围。
• 可以通过同时控制X, Y 两轴,对斜面进
行测量。
• Z1 轴检测器集成了防碰撞安全装置,当
主机和工件或夹具碰撞时,检测器将自
动停止。
• 提供易于操作的遥控箱,用户可以通过这
两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在
按键上标有易于理解的图形显示轴的选
择状态。
• 通过USB 与数据处理/分析装置(选件)
进行信息交换。