NBD H系列高温快速热处理退火炉简称RTP，由我公司自主研发。该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，安全可靠。炉胆采用高纯氧化铝聚轻纤维材料制作，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的最低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完美完成生产工艺的同时，也大大降低了间接污染试样的可能性。加热系统采用环形红外中波加热器，测温采用精准的S 型贵金属热电偶直接测量试样的表面温度，使试样区的温场更加均匀准确。控制界面采用大尺寸触摸屏，独占式智能操作，可预存多条控温曲线。控制数学模型采用先进的PID 自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±2℃，目前已被各种试样实验多次验证，并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。由于其生产过程的批量化标准化，有效保证了您培烧的试样产品品质的一致性，一定是您试验，生产的好帮手。
重要技术参数：
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1 |
项目 |
主要技术指标 |
数据 |
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2 |
规格型号 |
NBD-HR1100 |
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3 |
温度控制 |
最高温度点（℃） |
1200℃ |
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4 |
额定温度（℃） |
1100℃ |
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5 |
稳定状态温度范围（℃） |
100～1000℃ |
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6 |
温度测量精度（℃） |
±0.2℃ |
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7 |
温度控制重复性（℃） |
±1℃ |
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8 |
温度控制精确度（℃） |
±1℃ |
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9 |
温场均匀性（℃） |
±2℃ |
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10 |
温度状态工艺时间（S） |
2～100（100～1000℃） |
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11 |
最快升温速率（℃/S） |
500℃/S |
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12 |
降温速率（℃/S） |
1～200（通氮气，速率更快） |
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13 |
温度控制模式 |
智能模糊全闭环控制 |
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14 |
软件功能 |
操控系统 |
NBD-101智能系统 |
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15 |
用户界面 |
中英文互换 |
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16 |
工艺菜单编辑 |
傻瓜式操作并有图像界面 |
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17 |
扩充端口 |
可扩充真空测控和FFC供气 |
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18 |
看门狗 |
系统进入死循环时关闭主控制器 |
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19 |
热电偶校准状态检测 |
软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常 |
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20 |
超高温状态检测 |
软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路 |
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21 |
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触摸屏尺寸 |
7"LCD |
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22 |
物理指标 |
最大功率（KW） |
15 |
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23 |
额定电压 |
AC380～400V，50Hz（60Hz定制） |
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24 |
传感器类型 |
S型单铂铑 |
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25 |
反应腔室内径尺寸 |
Φ100X200 |
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26 |
式样有效空间 |
3.5" |
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27 |
真空度 |
4.3X10Pa(外配分子泵） |
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28 |
抽气端口尺寸 |
KF16（或Φ8mm宝塔嘴） |
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29 |
供气口尺寸 |
Φ6.35mm双卡套 |
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30 |
冷却方式 |
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2)–7psi(0.5kg/cm2) |
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31 |
外形净尺寸 |
长920×深500×高560mm |
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32 |
重量 |
约40Kg |
