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产品名称

1700℃单温区智能型3路气体CVD系统

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常规型号

NBD-T1700-50IT-D3FH

NBD-T1700-60IT-D3FH

NBD-T1700-80IT-D3FH

3

炉膛模式

封闭式

4

控制系统

诺巴迪智能温控系统

5

显示模式

7"触摸屏液晶显示

6

炉膛材料

进口纤维

7

加热元件

1800型硅钼棒

8

硅钼棒表面温度

1800℃

9

工作温度

≤1600℃

10

升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

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加热温区

单温区

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温区长度

240mm

13

恒温区长

120mm

14

炉管材质

高纯刚玉管

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炉管直径

50mm、60mm、80mm

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炉管长度

1000mm

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密封方式

不锈钢真空法兰

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气 密 性

真空法兰和刚玉炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa

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控制模式

智能PID多段程序控温

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控温精度

±1℃

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温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

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预存曲线

可预存10条温度曲线

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电流监控

指针式电流计

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电压监控

指针式电压计

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超温报警

有

26

过流保护

有

27

断偶提示

有

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测温元件

B型热电偶

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电气认证

CE认证

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供电电源

220V 50Hz～60Hz

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整机功率

4KW

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气体通道

可连接3种气源

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流 量 计

浮子流量计

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流量精度

3～4%

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A路量程

10～100ml/min

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B路量程

16～160ml/min

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C路量程

25～250ml/min

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气路压力

-0.1～0.15 MPa

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系统真空

5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）

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泵路链接

KF16铝质波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

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真 空 计

标准配置机械真空计，也可选配电子真空计

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售后服务

12个月质保，终身保修

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包装形式

三合板木质包装箱

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随机配件

刚玉炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、厚壁硅胶管、KF转接头。

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整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1105mm