公司自主开发的程控扩散炉系统，由进口温度控制器控温，具有高可靠性，高稳定性，功能强大，操作简单等优点，是半导体生产企业理想的生产设备。

程控扩散炉特点：

◆ 关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
◆ 具有可编程的升、降温功能。
◆ 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九歩。曲线间可以任意链接、重复。
◆ 具有高抗干扰能力。
◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。