YJDJG系列多晶硅行业尾气回收系统

（专利号：ZL200920101267.4）

一、概述

YJDJG系列多晶硅行业尾气回收系统是专门应用于多晶硅生产线的尾气回收装置，利用本回收系统将废气回收成二氧化硅和盐酸，本系统已获国家专利，经我公司投放市场，取得了良好的经济效益。

二、工作原理

生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次性还原，这个过程中约有25%的三氯氢硅转化为多晶硅，其余大量进入尾气，同时形成副产品——四氯化硅。四氯化硅是高危产品，遇空气遇水会产生对人体有害的氯化氢气体。在这个过程中，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和污染隐患。而且多晶硅与四氯化硅的生成比例为1：15，即生产一吨多晶硅，就需要处理15吨的四氯化硅，处理量非常大。目前国内处理多晶硅在技术上已经开创出了两个方式，一是将四氯化硅热氢化后再生成生产多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能彻底回收，还是会产生污染。第二种方法就是通过化工工艺将四氯化硅转化成高附加值的化工产品，即无毒无害的二氧化硅，我公司经过几年的实践与应用，成功地将本技术应用于本行业中，将尾气“变废为宝”。

本尾气回收系统包括固液分离回收（回收二氧化硅）、酸尾气回收（回收盐酸）零排放二个系统，使多晶硅生产线的尾气排放既达到了标准要求，又生产了有利用价值的二氧化硅和盐酸，可谓是一举双得。