型号	1010C	2010C	2017C	3017C
货号MF-A	176-662*	176-663*	176-664*	176-665*
货号MF-B	176-682*	176-683*	176-684*	176-685*
XY工作台行程范围	100*100mm	200*100mm	200*170mm	300*170mm
Z轴移动范围	150mm	150mm	220mm	220mm
调焦方式	手动调焦（粗调焦：30mm/rev.,微调焦：0.2mm/rev.)
测量方法	线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴）
分辩率（可转换）	0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
测量精度（20℃时）	XY轴：（2.5+0.02L)um ，L为无负载测量长度（mm），JISB7153
指示精度（20℃时）	Z轴：（5+0.04L)um,L为测量长度（mm）
XY工作台台面尺寸	280*280mm	350*280mm	410*342mm	510*342mm
载物玻璃有效尺寸	180*180mm	250*150mm	270*240mm	370*240mm
旋转功能	—	—	±5°(左）	±5°（左)
台面最大承重	10kg	20kg	20kg	20kg
最大工件高度	150mm	150mm	220mm	220mm