LED陶瓷基片连续式磁控溅射生产线:
磁控生产线主要用于压加力板材、玻璃、LED陶瓷基片、手机壳、电脑、PC、PET等表面磁控溅射高质量、多功能金属膜、防干扰电磁屏蔽膜(EMI)、反应膜、复合膜、透明导电膜(ITO)、抗反射膜(AR)、增反射膜等。具有大吞吐量连续式磁控金属化生产,采用同行业最先进的生产工艺,极大地提高了膜层与工件的结合力、附着力。连续式自动生产线保证了产品的一致性与稳定性,全制程无废气、废水排放,产品符合欧洲环保法要求。
特点及基本参数
ZHPL-1400A型连续生产线为双端立式一次通过连续式镀膜设备,除上下片为人工手动外,其余过程全部自动连续运行。本设备主要应用于PVD平面成膜.。本设备主要由9个真空箱体等组成。真空箱体包括:进片室,加热室,缓冲室,3个DC镀膜室,及缓冲室,冷却室,出片室。
此生产线用磁控溅射的方式在LED陶瓷基片表面镀制钛、铜、镍、铬等材料,用于导电散热、防氧化膜层。产品在真空状态下可连续生产,采用同行业最先进的生产工艺,极大地提高了膜层与工件的结合力、附着力,保证了产品的一致性与稳定性,全制程无废气、废水排放,产品符合欧洲环保法要求。