无需靶镜的高精度激光自干涉仪

产品介绍：

传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜，以反射测量光线，获得高精度测量效果。清华大学推出国际光首创的LY1000非接触式激光干涉仪，无需反射靶镜，利用待测物工件自身反射的光线即可实现高精度的测量

应用场所介绍

除传统激光干涉仪使用的测量目标外，还适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的测量目标，如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数等

系统特点

1无需靶镜、非接触式测量、量测可达5M

2被测物表面反射率无严格要求，可测“黑”表面

3采用激光自干涉原理，线性测量精度可达1*10-6次方

4无外部光学器件、无需调整光路、操作灵活方便

5自动环境补偿，保证测量高精度

规格参数

激光头尺寸                          265*90*78mm

激光头重量                          4Kg

激光工作波长                       1064nm

激光功率                              1-5mW

激光光束直径                       3-5mm

工作温度范围                        0℃-+40℃

系统组成                              激光头、控制箱、补偿传感器、笔记本电脑、连接电缆

激光稳频精度                        1*10-6

线性测量范围                        5m

线性测量精度                        1*10-6

分辨率                                  1nm

被测物反射率                          10-7——1

最高测量速度                          50mm/s