产品介绍
激光干涉测量具有极高的精度,是测量科学中重要的手段之一,几十年来已经在各行业有着广泛的应用。一单频干涉测量仪相比,基于外差技术的双频机关干涉测量仪具有抗干扰性好,工作稳定的有点,是高精度测量行业首选的测量手段。清华大学推出的LH2000型双频激光干涉仪,拥有自主知识产权,及时指标达到国外同等水平,是测量行业用户的可靠选择。
应用场所
数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准、光刻机校准、振动测量等。
系统特点
1采用氦氖双频激光进行测量,抗干扰性好
2频差达7MHZ±1Mhz,测量速度最高可达2m/s
3结构简单,方便易用
4自动环境补偿,保证测量精度。
5拥有自主知识产权,售后保障可靠
6可根据客户需奥提供系统解决方案
规格参数
激光头尺寸 330*110*130mm
激光头重量 3.3Kg
激光工作波长 632.8nm
激光功率 0.5-1mW
激光光束直径 5mm
频差 7Mhz±1Mhz
工作温度范围 0℃-+40℃
系统组成 激光头、光学组件 、补偿传感器、 笔记本电脑、连接电缆
激光稳频精度 1*10-8
线性测量范围 10m
线性测量精度 1*10-6】
分辨率 1nm
最高测量速度苏 2m/s
可定做更高频差