高速真空镀膜机VPC系列(VPC-1100)
特性:
1. 高性能排气设置。
从大气压到10-4Pa需10分钟
系统关闭后15分钟,冷却水可停止
2. 多种选件可延展功能。
在蒸发用电源下可实现多层膜与同时镀膜
3. 紧凑而易于移动。
4. 可选EB枪
应用:
1. 电子材料,半导体,太阳能电池的基础研发。
2. EL有机层薄膜研发。
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