INFICON 的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 在一个坚固而小巧管壳内展现了最先进的Pirani 技术。温度补偿能提供快速与最稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题。 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途的前级真空测量。
典型用途
· 控制高真空电离真空计
· 前级真空压强监测
· 真空系统中的安全电路
· 在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制
特 点
· 占空间小
· 任何方位安装
· 不锈钢测量单元的金属密封馈入件
· 最佳化的温度补偿
· 易于集成的对数讯号输出
· 至10 巴绝对压力的高过压能力，用螺纹连接件
· 烘烤型在法兰处可达到250℃
· 易于更换的传感单元
