INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中具有稳定的性能

典型用途

要求高的应用条件下, 精确而快速的压强测量:
·　用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 半导体制造设备
·　数据贮存和显示器制造设备
·　工业真空设备
·　常用高精度真空测量