旋转工作台装置

    旋转精度

径向

（0.02+6H/10000）μm H：为测量高度（mm） JIS B7451-1997

轴向

（0.02+6X/10000）μm X：为测量半径（mm）

旋转速度

4.6.10rpm

转台有效直径

φ150mm

调心/调水平方式

D.A.T

最大调心范围

±3mm

最大调水平范围

±1°

最大转台负载

25kg

最大测量直径

φ280

最大工件直径

φ560

垂直移动装置（Z轴装置）

驱动直线度

窄范围：0.20μm/100mm，全范围：0.30μm/300mm

与转台轴的平行度

1.5μm/300mm

最大移动速度

15mm/s（测量速：0.5/1.0/2.0/5.0mm/s）

最大行程

300mm

    最大检测深度：φ32mm大于91mm，φ7mm大于50mm（带有标准测针）

径向移动装置（X轴装置）

    驱动直线度

2.7μm/140mm（λc2.5）

与转台轴的垂直度

1.6μm/140mm

移动范围

165mm（从转台轴-25mm~+140mm）

最大移动速度

8mm/s（测量速度：0.5/1.0/2.0/5.0mm/s）

检测器

测力

10~50m/N（5级切换）（内径/外径测量位置带有标准测针）

尖端形状，材质

直径1.6硬质合金

测量范围

标准

±400μm/±40μm/±4μm

追踪

5mm

其他

内/外测量简单触摸切换,测针角度刻度标记(±45°),Z轴碰撞检测功能

其他

电源

100V~240V

能耗

80W

气压

0.39MPa

空气消耗量

标准情况22L/min

主装置重量

净重170kg