园度测量单元C-轴

园度误差(P+V) : 0.03um+0.0006um/mm 测量高度 

园度误差(P或V) : 0.015um+0.0003um/mm 测量高度 

轴向跳动(P+V) : 0.04um+0.0006um/mm 测量半径 

轴向跳动(P或V) : 0.02um+0.0003um/mm 测量半径 

工作台直径

160mm 

工作台中心承载

200N 

工作台X,Y方向轴线中心可调范围 

+/- 2.5mm 

工作台水平可调范围 

+/- 1° 

主轴速度 

1-10 rpm 

Z轴测量高度 

 250mm 

Z轴直线度误差 

0.15um/100mm

Z轴全程直线度误差 

0.3 um

Z轴与C轴间平行度误差

0.5 um 

测量速度 

 0.5-20 : mm/s 

定位速度 

 0.5-100 mm/s

测头零位调节

机械 ±30sum 

X-轴测量长度 

150 mm 

X-轴R轴与C轴垂直度误差

 1 um 

X-轴测量速度

 0.5-20 mm/s 

X-轴定位速度

 0.5-30 mm/s 

测头零位调节

 机械 ±30 um 

电子

 ±1% of 测量范围