X轴	测量范围		50mm（CV-1000）或100mm（CV-2000）
	分辨率		0.2μm
	测量方法		反射型线性编码器
	驱动速度		0.2,1mm/s和手动
	测量速度		0.02-5mm/s
	测量方向		向后
	直线度		3.5μm /50mm(CV-1000) 3.5μm /100mm(CV-2000) *当X轴在水平方向上
	指示精度（20℃）		±（3.5+2L/100）μm L为驱动长度（mm）
	倾斜范围		±45°（CV-2000）
Z1轴	测量范围		25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000）
	分辨率		0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列）
	测量方法		弧形编码器
	指示精度（20℃）		±（3.5+14H/25）μm） H为水平位置上的测量高度（mm）
	探针上下运作		弧形运动
	探针方向		向下
	测力		10-30mN
	跟踪角度		向上	77°
			向下	87°
探针针尖	半径		25μm
	材料		硬质合金针尖
基座尺寸（WxH）			750x600mm（CV-2000）
基座材料			花岗岩（CV-2000）
重量	主机		5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4）
	控制装置		14kg
	遥控箱		0.9kg
电源			100-240VAC±10% 50/60Hz
能耗			150W仅限主机
Z2轴（立柱，仅用于CV-2000）		立柱类型	电动（S4型）和手动（M4型）
		垂直行程	250mm（S4型）和320mm（M4型）
		分辨率	0.2um（S4型）
		检测方法	ABSOLUTE线性编码器（S4型）
		驱动速度	0-5mm/s和手动

型号	CV-1000N2	CV-2000N4	CV-2000S4
X1轴测量范围	50mm	100mm	100mm
Z1轴测量范围	25mm	40mm	40mm
Z2轴测量范围	-	250mm	320mm