ZEISS的Axio Imager Vario 专为研究、开发及质量控制领域中的样品检测而设计 – 从最小的 MEMS 传感器到超大晶圆。最高可达 254 mm 的超大样品空间和最宽可达 300 mm 的横向纵向移动范围，保证了在测量大样品时不损坏样品。一体的机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与 Auto Focus 自动聚焦硬件，将低对比度的反射样品自动调整至最佳聚焦位置，始终呈现最理想的检测结果。

优点：

1、扩展样品空间

两种手动和一种电动机柱可供选择，充分利用显微镜最大 300 mm 横向与纵向移动距离和最高254 mm 垂直深度的优势。无论是检测较重的样品，或与 LSM 700 激光扫描显微镜组合使用 –结实的机柱使其具有稳定性高和无震动的特点。选择适用于反射光与透射光的各种载物台及样品夹，让您的应用扩展无极限。

2、认证的超净室组件

晶圆和光掩模检测对洁净度要求均十分严格。、Axio Imager Vario 已通过 DIN ENISO14644-1标准认证，其超净室组件能满足超净室等级 5 的要求。多种附件可选，如配有颗粒保护罩和防喷嚏保护罩的 7 孔物镜转盘， 能有效保证样品持续洁净，充分发挥机器性能。

3、随时实现精准自动聚焦

集成有 Auto Focus 快速自动聚焦硬件系统的Axio Imager Vario 可用于高射、低对比度样品的表面检测。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的 0.3 倍，且适用于反射光与透射光应用。当传感器检测到聚焦位置发生微小变化时，系统快速自动补偿偏差。即便是大尺寸样品，在 XY 方向上也能实现精准聚焦。