一种型号供所有应用工艺使用 ATP系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号： - 标准型
- 适于腐蚀性应用工艺的C型
- 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型
逆向动态密封 C型与HPC型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。 ACT控制器：多种远程控制接口 ACT控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。 特点： 优点：- 避免使用旁通管道
- 遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
- 固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
应用：- 高真空
- 空间模拟
- 沉积
- 粒子加速器
- 通用物理实验
- 离子束
- 表面分析器
- 进出口室抽气
- 电子显微镜
- 反应粒子离合
- 物理气象沉淀
- 离子注入
涡轮分子泵ATP系列兼具可靠性与高性能一种型号供所有应用工艺使用 ATP系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号： - 标准型
- 适于腐蚀性应用工艺的C型
- 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型
逆向动态密封 C型与HPC型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。 ACT控制器：多种远程控制接口 ACT控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。 特点： 优点：- 避免使用旁通管道
- 遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
- 固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
应用：- 高真空
- 空间模拟
- 沉积
- 粒子加速器
- 通用物理实验
- 离子束
- 表面分析器
- 进出口室抽气
- 电子显微镜
- 反应粒子离合
- 物理气象沉淀
- 离子注入
涡轮分子泵ATP系列兼具可靠性与高性能一种型号供所有应用工艺使用 ATP系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号： - 标准型
- 适于腐蚀性应用工艺的C型
- 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型
逆向动态密封 C型与HPC型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。 ACT控制器：多种远程控制接口 ACT控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。 特点： 优点：- 避免使用旁通管道
- 遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
- 固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
应用：- 高真空
- 空间模拟
- 沉积
- 粒子加速器
- 通用物理实验
- 离子束
- 表面分析器
- 进出口室抽气
- 电子显微镜
- 反应粒子离合
- 物理气象沉淀
- 离子注入
涡轮分子泵ATP系列兼具可靠性与高性能一种型号供所有应用工艺使用 ATP系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号： - 标准型
- 适于腐蚀性应用工艺的C型
- 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型
逆向动态密封 C型与HPC型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。 ACT控制器：多种远程控制接口 ACT控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。 特点： 优点：- 避免使用旁通管道
- 遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
- 固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
应用：- 高真空
- 空间模拟
- 沉积
- 粒子加速器
- 通用物理实验
- 离子束
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- 进出口室抽气
- 电子显微镜
- 反应粒子离合
- 物理气象沉淀
- 离子注入
涡轮分子泵ATP系列兼具可靠性与高性能一种型号供所有应用工艺使用 ATP系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号： - 标准型
- 适于腐蚀性应用工艺的C型
- 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型
逆向动态密封 C型与HPC型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。 ACT控制器：多种远程控制接口 ACT控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。 特点： 优点：- 避免使用旁通管道
- 遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
- 固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
应用：- 高真空
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- 沉积
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- 通用物理实验
- 离子束
- 表面分析器
- 进出口室抽气
- 电子显微镜
- 反应粒子离合
- 物理气象沉淀
- 离子注入
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