磁悬浮涡轮分子泵ATH-M 系列为半导体工艺设计的4种泵
阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵 五大防腐特性 - 自动平衡系统
- 嵌入式75加热系统
- 5轴控制
- 惰性气体吹扫
- 逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）
高流量应用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M and ATH 2300 M型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。 紧凑而现代的设计 - 可调节转速以优化抽气时的参数
- 高平均无故障时间
- 使用成本低
- 低噪音低振动
- 无需电池
应用 - 玻璃镀膜
- 微处理系统加工
- 离子束矫正
- 电子显微镜
- 空间模拟腔
- 粒子加速器
- 半导体工艺(刻蚀, CVD,离子插入)
- 镀膜与薄镀膜工艺
- 离子铣
- 以及许多研发实验
磁悬浮涡轮分子泵ATH-M 系列为半导体工艺设计的4种泵阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵 五大防腐特性 - 自动平衡系统
- 嵌入式75加热系统
- 5轴控制
- 惰性气体吹扫
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高流量应用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M and ATH 2300 M型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。 紧凑而现代的设计 - 可调节转速以优化抽气时的参数
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- 使用成本低
- 低噪音低振动
- 无需电池
应用- 玻璃镀膜
- 微处理系统加工
- 离子束矫正
- 电子显微镜
- 空间模拟腔
- 粒子加速器
- 半导体工艺(刻蚀, CVD,离子插入)
- 镀膜与薄镀膜工艺
- 离子铣
- 以及许多研发实验
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- 嵌入式75加热系统
- 5轴控制
- 惰性气体吹扫
- 逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）
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- 高平均无故障时间
- 使用成本低
- 低噪音低振动
- 无需电池
应用- 玻璃镀膜
- 微处理系统加工
- 离子束矫正
- 电子显微镜
- 空间模拟腔
- 粒子加速器
- 半导体工艺(刻蚀, CVD,离子插入)
- 镀膜与薄镀膜工艺
- 离子铣
- 以及许多研发实验
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- 电子显微镜
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- 半导体工艺(刻蚀, CVD,离子插入)
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- 离子铣
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高流量应用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M and ATH 2300 M型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。 紧凑而现代的设计 - 可调节转速以优化抽气时的参数
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