制造商:MRC
型号：903M
地点：美国
状态：AS IS,WHERE IS （我们提供翻新、安装、保修服务，额外收取合理费用）
包装：卖方负责（如果需要）
保修/退款：无
说明：RF Sputter, Etch, 3 Target
真空系统：Cryo Pumped,CTI Cryotorr 8
Loadlock：包括
Target 尺寸： 5"x 15"
RF 阴极数量： 3
RF Etch 阴极数量： 1
加热功能： 无
其他信息： MKS 252 Exhaust valve controller.
RGA not included(optional)
动力要求： 208 V     100.0 A     60 Hz     3 Phase 
尺寸： 
  Width 80.000  in  (203.2 cm)
  Depth 45.000  in  (114.3 cm)
  Height 60.000  in  (152.4 cm)

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期待您的机会。