1.1、工作温度：400-1300℃

1.2、恒温区长度及精度： 300mm  /±0.5℃（可选）

1.3、炉管数：一、二、三、四管（可选）

1.4、适应硅片尺寸： 6寸及向下兼容

1.5、送取片方式：自动或手动（可选）

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备、真空设备生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等解决方案。

主要产品：晶圆真空退火炉、晶圆真空合金炉、半导体材料氧化炉、真空共晶炉、封装外壳烧结炉、非晶材料磁场退火炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉加热器等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。