【SIC高温氧化炉氧化扩散炉碳化硅氧化炉晨立电子】价格_厂家

品牌

晨立

型号

CL-5414

类型

扩散炉

加工定制

用途

应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2~8英寸工艺尺寸

电源

1V/Hz

功率

1W

外形尺寸

1mm

重量

1kg

温度

200-1300

加热体控制点

3/5点

扩散炉产品特点：
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行自动控制
◆采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等
◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成，流量控制采用进口质量流量计（MFC）
◆控温精度高，温区控温稳定性好；
扩散炉主要技术指标
◆工作温度：200～13OO℃
◆加热体控制点：3/5点
◆炉体恒温区：450mm/600mm/800mm/1100mm
◆恒温区精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
◆单点温度稳定性：600～13OO℃/ ±0.5℃/24h