（一）碳化炉主要功能

碳化炉主要用于PI膜的热分解。炉体即可在真空下工作，又可在氮气或氩气气氛下工作。

采用三段自动分段程度温度控制，温度均匀性高，产品性能稳定。一段测温和控制的设备，同炉的产品稳定性差，合格率低。

带有高效的过滤装置，可有效的过滤焦油。防止焦油对真空系统的损坏。现在市场上的同类产品，因为过滤系统效果不好，导致在每天都清洗真空泵和更换真空泵油的情况还，真空泵的使用寿命都只有三个月左右。而我公司配的过滤系统，真空泵的清洗周期延长了十倍，达到了十天到一个月。既节省了劳动力和真空泵油，双提高了真空泵的使用寿命。很多购买了其它厂家的碳化炉的客户都更换了我公司的过滤系统。

（二）碳化炉的结构特点：

碳化炉由炉壳体、加热器、保温箱、真空获得系统、水冷却管网、电气控制系统组成。

3.1 炉壳体

为钢板焊成的水冷夹层圆筒体，双层结构，内层和外层都采用不锈钢制作，法兰也是采用不锈钢制作，两端为夹层水冷炉门。炉体与各部件的连接处，均用四弗橡胶圈密封。系统的其它部件或装在炉体上或与炉体相连接。

3.2 加热器

加热器为用石墨棒组成的笼式结构，石墨棒的形状设计与布置考虑了真空和气氛条件下温场的均匀性控制，以及更换方便。

进入碳化室内有三根通过真空密封的带水冷的铜进电柱。在高温处通过石墨棒与加热器连接，采用陶瓷套管绝缘。

3.3 保温箱

保温箱用不锈钢角钢作骨架，不锈钢网铺面，内衬多层软碳毡或复合硬碳毡组成保温屏。

3.4真空获得系统

由机械泵、带充气电磁真空阀、真空蝶阀、隔膜阀和管道组成。带充气电磁真空阀和滑阀泵同时动作，以防止泵油反流进真空系统。1只真空隔膜阀用于充工艺气体，1只用于开炉门前充空气破真空。

3.5水冷却管网

本设备中炉体、炉门、进电杆、真空泵、可控硅等都带水冷却。为了保证水冷系统正常工作，水压应大于0.03MPa。 控制系统带有水压报警装置，当水压小于0.2MPa时报警并切断主电源。

3.6电气控制系统

包括温度和真空度测量、可控硅调压电源控制、真空泵控制。

3.6.1温度和真空度测量

采用三点温度测量和控制，以保证炉内的温度均匀性。温度测量用三支钨铼热偶测量，将信号送智能控温仪表显示和控制可控硅调压电源，实现全自动控温， 真空度用麦氏真空计测量。

3.6.2一台三相变压器一次380V。

3.7 过滤装置

过滤装置采用双过滤系统，第一道由炉内出来的气体，通过不锈钢制作的带水循环的冷却器进入气体冷却，。热交换片采用不锈钢翅片式结构，与气体的接触面大，冷却效果好。冷却的气体中的焦油将大部分粘附在冷却器内壁和热交换器片中。冷却器的热交换片可整体取出，在外进行清洗。

第二道过滤装置采用进口过滤纤维制成的过滤芯进行过滤。进一步的净化小可粒的粉尘，以减小粉尘对真空泵的影响。

3.8材料料框

材料料框主要用于放置切成片的材料，用于炉内碳化。它由底板，撑杆和压板。压板可自由上下活动，可有效的压着材料，同时采用撑杆对材料进行限位，可防止材料在搬动和烧的过程中移位。