4.2  上料工位

4.3  超纯水淋洗槽

4.4  酸腐蚀槽

4.5  超纯水清洗槽

4.6  酸腐蚀槽

4.7  超纯水快排清洗槽

4.8  超声清洗槽

4.9  纯水煮沸槽

4.10 氮气切水槽

4.11 下料工位

4.12 传送机械臂

4.13 清洗篮

4.14 电气控制部分