技术参数： TR Profile | 测量范围 | µm | Ra, Rq : 0 - 20 / all other meas. values : 0 - 200 | 分辨率 | µm | Ra, Rq : 0.01 (<0.1µm : 0.001)/all other meas. values: 0.1 | 按 ISO/EN/DIN标准 | | 1 (5%) | Cutoff Ic | mm | 0.25, 0.8, 2.5 | 移动长度 | mm | 1.50, 4.8, 15.0 | Traversinglength CNOMO | mm | 1, 2, 4, 8, 161.50, 4.8, 15.0 | 湿度 | | max. 80%, 无凝结 | 金刚石压头 | | 5µm, 90° (标配) or 2µm, 60° (选件) | 静态测力 | mN | < 0.5 | 静态滑动头 | N | < 0.15 | 移动速度 | mm/s | 0.5 | 反向移动 | mm/s | 1.0 |
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