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型号：ISP-90
排气速度90L/min
极限真空：5pa (3.8×10-2Torr)
功率：0.15kw
噪音：52db
泄漏量：1x10-2Pa.L/s（1x10-4mbar.L/s）
重量：14kg
外形尺寸：L308mm×W214mm×H225mm
吸气接口：NW25
排气接口：NW16
冷却方式：气冷
型号：ISP-250
排气速度250L/min
极限真空：1.6pa (1.2×10-2Torr)
功率：0.4kw
噪音：58db
泄漏量：1x10-2Pa.L/s（1x10-4mbar.L/s）
重量：23kg
外形尺寸：L370mm×W252mm×H336mm
吸气接口：NW25
排气接口：NW16
冷却方式：气冷
型号：ISP-500
排气速度500L/min
极限真空：1.0pa (7.5×10-3Torr)
功率：0.6kw
噪音：60db
泄漏量：1x10-2Pa.L/s（1x10-4mbar.L/s）
重量：38kg
外形尺寸：L372mm×W328mm×H372mm
吸气接口：NW40
排气接口：NW25
冷却方式：气冷
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