美国MKS1179A气体质量流量计MKS1479A质量流量计MKS2179A质量流量计MKS1559A质量流量计 MKS1179A气体质量流量计 1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控制量程：2% to 100% 的全量程。

测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min