一、概述
ParyLene材料，属于一种具有完全线性结构的高分子聚合物。PARYLENE表面涂敷采用一种特殊的化学气相沉积工艺（CVD ），整个反应过程在真空条件下进行,工作原理:晶体粉料→加热气化→加热裂解→活性中间体→气相沉积。PVD型真空气相沉结装置就是根据PARYLENE材料的化学特性与工程应用要求设计的，具有手动/自动工作方式，自动化程度高，操作简单。其涂层具有厚度均匀、同形性好、无针孔、绝缘强度高、介电损耗小、无残余应力、热稳定性好，具有耐化学、霉菌和细菌侵蚀、机械性能好等优点。可广泛应用于电子、机械、医疗器械等行业，尤其适合磁性材料行业的防腐和绝缘。
二、主要技术指标
|
1、工作室容积 |
φ448mm×700mm |
|
2、处理量 |
≥30 公斤/炉 |
|
3、粉料仓容积 |
φ145mm×300mm |
|
4、粉料仓加热温度 |
0～250℃ |
|
5、辅助加热温度 |
0～180℃ |
|
6、仓门加热温度 |
0～250℃ |
|
7、裂解炉工作温度 |
0～800℃ |
|
8、冷阱工作温度 |
≤-70℃ |
|
9、真空度 |
4×10-1 Pa |
|
11、料架旋转速度（连续可调） |
3～15r/min |
|
12、工作方式 |
手动/自动 |
注：1）气相沉积料粉可用C粉和N粉及D粉叁种，目前国产N粉价格为每公斤550-600元左右；以每炉处理30公斤计，根据不同工艺和产品，需用料粉350-450克，即每处理一公斤产品需要12-15克料粉。
中国西南应用磁学研究所
绵阳西磁科技有限公司
地址：四川省绵阳市高新区火炬西街北段81号
电话：0816-2635343，13890184761（杨云冬）
