PVD型真空气相沉积装置简介
绵阳西磁科技有限公司,成立于1994年1月,位于风景秀丽的绵阳国家高新技术开发区,占地面积40000平方米,建筑面积18000平方米,注册资本1567.5万元。是中国电子科技集团公司电子九所全资子公司,是我国磁学领域最大的综合性应用磁学研究机构。
公司拥有雄厚的技术力量和丰富生产设计经验,在真空铸片快淬.真空烧结和退火及真空气相沉积(CVD),磁选除铁和选矿,合金制粉、制粒等装备的设计、制造方面具有独特优势。公司的产品性能可靠,运行稳定,操作简便,维修方便,节能省电,工作效率高,深受用户的信赖
PVD型真空气相沉积装置外型见上图
一、概述
ParyLene材料,属于一种具有完全线性结构的高分子聚合物。PARYLENE表面涂敷采用一种特殊的化学气相沉积工艺(CVD ),整个反应过程在真空条件下进行,工作原理:晶体粉料→加热气化→加热裂解→活性中间体→气相沉积。PVD型真空气相沉结装置就是根据PARYLENE材料的化学特性与工程应用要求设计的,具有手动/自动工作方式,自动化程度高,操作简单。其涂层具有厚度均匀、同形性好、无针孔、绝缘强度高、介电损耗小、无残余应力、热稳定性好,具有耐化学、霉菌和细菌侵蚀、机械性能好等优点。可广泛应用于电子、机械、医疗器械等行业,尤其适合磁性材料行业的防腐和绝缘。
二、主要技术指标
1、工作室容积 |
φ448mm×700mm |
2、处理量 |
≥30 公斤/炉 |
3、粉料仓容积 |
φ145mm×300mm |
4、粉料仓加热温度 |
0~250℃ |
5、辅助加热温度 |
0~180℃ |
6、仓门加热温度 |
0~250℃ |
7、裂解炉工作温度 |
0~800℃ |
8、冷阱工作温度 |
≤-70℃ |
9、真空度 |
4×10-1 Pa |
11、料架旋转速度(连续可调) |
3~15r/min |
12、工作方式 |
手动/自动 |
注:1)气相沉积料粉可用C粉和N粉及D粉叁种,目前国产N粉价格为每公斤550-600元左右;以每炉处理30公斤计,根据不同工艺和产品,需用料粉350-450克,即每处理一公斤产品需要12-15克料粉。
中国西南应用磁学研究所
绵阳西磁科技有限公司
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