
1.单晶硅激光刻槽机,多晶硅激光刻槽机主要特点:
半导体激光刻膜机设备,采用国际最优的脉冲激光发生器光学系统,高速数控X/Y工作台,专用控制软件使程序的编辑和修改简单方便,并实时显示运动轨迹,在电脑控制下精确运动。工作台采用十字型结构双工作位交替工作。同时,单晶硅激光刻槽机,多晶硅激光刻槽机关键部件均采用进口产品。整机结构合理、划片速度快、精度高、功能全、操作简单方便,能24小时长期连续工作,合项性能指标稳定可靠,故障率低,加工成品率高,适用面广,在太阳能行业得到广泛的应用和用户的高度肯定。
1.光束质量更好,切缝更细,边缘平整光滑;
2.转换效率更高,运行成本更低;
3.全程电脑控制,设备体积更小;
4.工作台双工位循环工作真正免维护,
5.不间断连续运行,无消耗性易损件更换,高可靠光学系统。
2.单晶硅激光刻槽机,多晶硅激光刻槽机应用领域
半导体激光刻槽机广泛应用于太阳能行业太阳能电池片(cell)和硅片(wafer)的划片及晶圆划片(切割)
3.单晶硅激光刻槽机,多晶硅激光刻槽机产品参数
激光器类型
半导体激光器
激光波长
10.64µm
激光输出功率
≥50W
激光重复频率
20kHz-50kHz
最小线宽
10µm
最大划片厚度
1.2 mm
最大划片速度
140mm/s
重复定位精度
0.025mm
工作台幅面
300×300 mm
电源
220V/50Hz
冷却方式
水冷
工作台
全自动电脑控制
4.单晶硅激光刻槽机,多晶硅激光刻槽机样品图片