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- 选用优级纳米氧化硅粉体与环保湿润剂、活性剂、分散稳定剂依据进口优质配方配制而成,是一种高纯度低金属离子型抛光产品;
- 化学机械抛光技术(CMP Chemical Mechanical Polishing )是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:
首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。
抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。
硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。
3.氧化硅纳米抛光膏(液)适用于:
阴极射线管玻壳、光学玻璃、金银及其它金属的表面抛光;
纳米级高平坦化抛光,如硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化鎵、磷化铟、精密光学器件和蓝宝石片等的镜面抛光。
铝宝石抛光,锆宝石抛光,金属镜面抛光、不锈钢镜面抛光、铝材镜面抛光、手机外壳镜面抛光、光学玻璃抛光、液晶显示屏抛光、高档石材等镜面抛光。
4.产品粒度:0.05um。
5.产品包装:100毫升/瓶和500毫升/瓶或应客户要求规格包装。

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