【半导体扩散炉氧化扩散炉青岛晨立电子 cl】价格_厂家

品牌

晨立

型号

CL

半导体材料

其他

安装方式

其他

功率特性

大功率

频率特性

低频

封装方式

厚膜封装

功耗

1

正向电压降

1V

最大反向工作电压

1V

额定整流电流

1A

结温

1℃

炉管数

1-4管

工艺管口径

90-360mm

主要技术指标：
炉管数：1～4管
配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
气源路数： ≤7路
气体控制：浮子/质量流量计
悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 载荷：17 Kg
超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音： ≤62dB（A）振动： ≤3μm