2）您有对之不是完全了解的材料，想找出有关它的成份、沾污、残留物、界面层、杂质等。

扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)

  扫描探针显微镜，俗称原子力显微镜(AFM),提供原子或接近原子分辨率的表面图形，是测定埃尺度表面粗糙样本的理想技术。除显示表面图像, AFM还可以提供特征尺寸定量测量， 例如步进高度测量；其他样本特性，如为确定载体和掺杂剂的分布和测量电容。

AFM测试原理图

• 应用范围
• 主要优点
• 技术参数

 AFM应用：
  三维表面结构图像，包含表面粗糙度、微粒尺寸、步进高度、倾斜度 
  加工前后晶圆上（二氧化硅、砷化镓、锗化硅等）评估 
  测定接触镜片、导管、支架和其他生物医药表面的加工效果(如等离子处理) 
  测定表面粗糙度对粘合和其他工艺的影响 
  测定有图案晶圆的沟壁形状/洁净度 
  测定形态/结构是否为表面几何形状的来源 

俄歇电子能谱 (AES, Auger)

    俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术. AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。
    AES电子束可以扫描一块或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小块表面形貌上（半导体产业经常要求这样）。聚焦电子束斑到10nm或更小的直径使得AES成为小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能够在可调整的表面区域内栅蔽电子束从而控制分析区域的尺寸。 当用来与溅射离子源的结合时, AES能胜任大、小面积的深度剖面。 当与聚焦离子束(FIB)一起使用时,它对于截面分析是很有用的。

应用范围：
   缺陷分析 

 颗粒分析 

   表面分析 

 小面积深度剖面 
 工艺控制 
 薄膜成分分析

AES优点：
 小面积分析（30纳米） 
 良好的表面灵敏度 
 良好的深度分辨率

二次离子质谱(SIMS)

    二次离子质谱分析技术(SIMS)是用来检测低浓度掺杂剂和杂质的分析技术。 它可以提供范围在数埃至数十微米内的元素深度分布。SIMS是通过一束初级离子来溅射样品表面。二次离子在溅射过程中形成并被质谱仪提取分析. 这些二次离子的浓度范围可以高达被分析物本体水平或低于ppm痕量级以下。
    SIMS可帮助客户解决产品研发、质量控制、 失效分析、故障排除和工艺监测中的问题。 

二次离子激发示意图

扫描电子显微镜/X射线能谱仪(SEM/EDS)

     扫描电子显微镜/X射线能谱仪（SEM/EDS）是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。SEM/EDS正是根据上述不同信息产生的机理，对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息，对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。

电子束激发样品表面示意图

• 应用范围
• 主要优点

主要特点：
1．样品制备简单，测试周期短；
2．景深大，有很强的立体感，适于观察像断口那样的粗糙表面；
3．可进行材料表面组织的定性、半定量分析；
4．既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像；