涂镀层厚度测试
目的:
检查涂覆、电镀、化学镀所形成镀层厚度及其镀层均匀性
涂/镀层产品来料厚度检验
方法:
截面法(仲裁方法)
X射线荧光膜厚法
依据标准:
截面法:GB/T 6462-2005,ASTM B 487-85(2002), ASTM B748-1990(2010)
X射线荧光膜厚法:ASTM B 568-98,GB/T 16921-2005,ISO 3497
典型图片:
扫描电子显微镜
截面法:显微镜测试
利用高倍显微镜测量镀层厚度,最高倍数1000X,最低可测至0.8µm。
截面法:SEM测试
利用SEM(扫描电子显微镜)测量镀层厚度,其最小分辨率为100nm。
X射线荧光膜厚法
具体可针对如Sn/Fe(基材)、Zn/Cu(基材)、Ni/Cu(基材)、Cr/Ni/Fe(基材)、 Au/Ni/Cu(基材)等数十种电镀工艺镀层进行厚度测量,具有测量精度高、简便快捷、无损的优点,特别是对微薄镀层厚度(一般指小于0.2微米)测量效果较佳。