设备应用

设备特点

• - 可测量透明膜和弱吸收膜的厚度和折射率
• - 高精度和高重复性测量，膜厚范围从50~20000nm
• - 准确度：1nm   (<0.4um 薄膜)
• - 精 度：0.3nm (<0.4um 薄膜)