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椭偏仪SENTECH的SENresearch和SENpro
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产品属性
图文详情
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所在地
德国
服务内容
技术
光谱范围
190 nm –2500 nm
最大样品直径
300mm
膜厚测量范围
可扩展至25000 nm.
光斑直径
80 μm
角度计
步进5°
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