AutoGlow等离子系统

AutoGlow等离子系统是一个桌面等离子体化学反应器，为医疗，科研，教育和生产微电子设计开发的一款价位适中高性能的等离子系统。该系统可以进行生产以及研发中心。用于氩气，氧气等离子，等离子喷涂，硅橡胶，氧等离子体处理，光刻胶的剥离，聚对二甲苯去除，有机物的去除和实验室使用。世界各地的大学和公司都应用AutoGlow等离子体系统，并完全的满足于他们的等离子需求。

AutoGlow等离子系统以其可变的10W至300W，13.56 MHz的固态发生器在同类市场上是最高效的系统。 AutoGlow等离子系统能高效的击穿引入的气体产生等离子，快速的完成清洗和活化样品。系统可以自动调谐，压力读数可见。 AutoGlow在10瓦的时候就产生等离子！

AutoGlow 产品特点

AutoGlow等离子系统，固定的电子元器件，更新的气体输入选配方案和技术，满足世界各地的用户和安全人员。腔体大小144.27mm（7.36in）直径186.94mm深（5.68in）是由高纯石英制成。系统和腔体的设计相比其他台面等离子系统提高了均匀性和可重复性。也可提供一个较大的腔体。   

AutoGlow等离子系统的设计可在低功率或高功率运行，具有可变10-300瓦功率。13.56 MHz的固态发生器，使AutoGlow等离子系统在市场上同类产品中是最高效的系统。

• 体积小，台式系统

• 在13.56兆赫下可变的10至300瓦功率，满足轻微或强力的处理

• 腔体由高纯度石英制成

• 固态电子器件没有管件

• 专有的快速调谐的固态探测器

• 高效等离子处理的自动调整

• 压力读数时时可见

• 定时器

• 显示正向和反射功率和射频设定点

• 自动运行诊断卡

• 腔体气体分散器改善气体分布均匀性

• 软排气孔，以防止压力迸发

• 可选的气体控制模块最多三路气体输入

• 均匀的等离子体是其达到快速和有效的效果

• 专有的RF发生器和匹配网络满足最小的反射功率

• 匹配网络进行快速调谐

• 前视图门内置的紫外线防护

• 完全的系统，满足达到重复的结果

• 易于理解，操作方便

• 所有电子元器件插件在一块电路板上，便于维修

• 启动技术支持和视频

• 完整的手册和文件

• 24个月的保修期

• 典型的等离子体辉光。石英腔门可以防护紫外线，以满足新的安全标准

   

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