Thickness (mm) 1.20mm
Density (g/cm3) 0.57
Hardness (shore
A) 69
Compressibility
(JIS1021)37.50﹪几个方面
Recovery rate after
compression(JIS1021)86.62﹪
寿命:150小时以上
無蜡墊 是替代以蠟將工件黏附在置具上的模式,內層採用了拋光微孔材料,潤濕後特殊微孔吸附住工件,使工件在加工過程中固定不脫落,完工後便利取片,且不會有殘蠟及殘膠問題,適用於單面拋光工藝中各種尺寸及形狀的晶片加工。
BPG吸附垫产品具有独特的孔隙结构,其吸附性能表现为真空状态吸附住被抛光对象,其复合cell结构设计在高的压缩率及压缩弹性率,适合中高压研磨制程中使用,亦可部分取代无蜡垫。