陶瓷平面靶材采用烧结及绑定工艺,可生产长度600mm,单节长度400mm,宽度30mm,圆角、斜角、台阶等异形尺寸可根据客户要求加工。相对密度>99%,纯度>99.95%~99.999%,该陶瓷平面靶材主要应用于薄膜太阳能工业、液晶显示、有机发光二极管、光学和低辐射玻璃等。
深圳市众诚达应用材料科技有限公司生产的ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物,是ITO薄膜制备的重要原料。ITO靶主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作,后者是制造平面液晶显示的主要材料,在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶的理论密度为7115g/ cm3。优质的成品IT O靶应具有≥99%的相对密度。这样的靶材具有较低电阻率、较高导热率及较高的机械强度。高密度靶可以在温度较低条件下在玻璃基片上溅射,获得较低电阻率和较高透光率的导电薄膜,甚至可以在有机材料上溅射ITO导电膜。目前质量最好的ITO溅射靶,具有≥99%相对密度。