陶瓷平面靶材采用烧结及绑定工艺,可生产长度600mm,单节长度400mm,宽度30mm,圆角、斜角、台阶等异形尺寸可根据客户要求加工。相对密度>99%,纯度>99.95%~99.999%,该陶瓷平面靶材主要应用于薄膜太阳能工业、液晶显示、有机发光二极管、光学和低辐射玻璃等。
深圳市众诚达应用材料科技有限公司主要生产销售各种靶材。钨-钛(W-Ti)膜以及以钨-钛(W-Ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有一系列不可替代的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,W/ Ti 合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如Al 、Cu 和Ag 等已经被广泛的应用和研究。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,易扩散进入Si 与SiO2 等器件的衬底材料中,并且在较低的温度下会形成金属与Si 的化合物, 充当了杂质的角色,使器件的性能大幅度下降。而W-Ti 合金因具有稳定的热机械性能、低的电子迁移率、高的抗腐蚀性能和化学稳定性使其很容易作为布线扩散阻挡层,特别是适合在高电流和高温的环境下使用。