ITO玻璃

标准值

误差范围

备注

基片结构

Glass/SiO2/ITO

尺寸

200*200mm

±0.2mm

卡尺

基片厚度

0.7mm

±0.05mm

卡尺

SiO2厚度

250 Å

大于

椭偏仪

ITO层厚度

1700 Å

±100 Å

台阶仪

ITO层面电阻

10Ω/口

≤

四探针法检测

ITO层粗糙度

1nm

Ra≤

AFM检测

可见光透过性

85%

≥

380~780nm波长范围

表中概括了常规产品参数，对产品有更特殊的要求可沟通。