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MOCVD金属有机化合物化学气相沉积 真空镀膜设备 气相外延生长
1台起批
2000000
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产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
沈阳百斯特
型号
MOCVD
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
工业涂层
极限真空度类型
超高真空
镀膜室尺寸
占地 8.5米X4.5米mm
工作真空度
2.0×10-7Pa
真空室材质
不锈钢
系统控制
工控机
最高加热温度
1100℃
冷却方式
水冷
流量
5L/min
整机总功率
25kW
适用领域
真空镀膜
加工定制
重量
5000kg
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