真空阴极电弧离子镀简称真空电弧镀,如采用两个或两个以上真空电弧蒸发源时,则称为多弧离子镀或多弧镀,它是把真空弧光放电用于蒸发源的一种真空离子镀膜技术,真空电弧镀设备可以在要求的温度及真空度条件下,对工件进行涂镀。
技术参数:
设备有效尺寸:4650mm×3200mm×2600mm
设备重量:3800KG
极限真空度:1.0×10-3Pa
工作真空度:4.0×10-2Pa
同时喷涂零件数量:12-24件
零件最大外形尺寸:120mm×180mm
挥发材料使用系数:15%
冷水流量:2m3/h
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