一、产品简介
JunheR1022是一种硅片清洗添加剂产品,它不会破坏表面的硅或氧化硅,因为它包含部分溶剂组成。它的主要功能是清洁硅片表面残留的金属离子,清洗后硅片表面的金属离子浓度可降低至100ppm以下。
二、产品优势
1、降低硅片表面残留的金属离子浓度;
2、不含亚硝酸盐、胺盐、铬盐等致癌的防锈添加剂;
3、对工件及清洗设备无腐蚀,安全环保。
三、技术参数
| 项 目 | 技术指标 | 检验方法 |
原 液 | 外观,15℃~35℃ | 无色透明液体 | 目测 |
pH值 | 1-2(PH试纸) | JB/T 4323.2 |
密度g/cm3,20℃ | 1.0-1.1 | GB 4472 |
四、使用方法及工艺流程
1、推荐浓度:0.5%;
2、推荐温度:40~70℃;
3、清洗方法:浸渍、超声波清洗;
4、清洗时间:2~5分钟。
5、工艺流程:脱脂—→水洗—→水洗—→后处理。
五、维护方法
1、由于生产过程中连续使用,致使工作液除油、脱脂性能减弱。定期检测清洗液的pH值,应及时补充新液,将pH值控制在12-13范围内;
2、由于连续使用,槽体中的浮油增多,必须定期撇去上层浮油,保持清洗液清洁。
六、注意事项
1.线切后的晶棒不可以沾水,如不能及时清洗,最好先存放在悬浮液或清洗剂中(全部浸没)。
2.线切后的晶棒一旦上架清洗,必须马上处理。而且在整个清洗过程中不可让硅片自然干燥。
3.脱胶时必须保持硅片润湿,亦不可自然干燥。
4.一、二槽超声波清洗时须先关闭鼓泡开关,待上架完成后再开鼓泡,主要避免产生碎片。
5.每个清洗周期完成后(如班次的更替),彻底更换五、六、七、八槽的清水槽。
七、包装运输与储存
1、25kg塑桶;
2、避免阳光;
3、冬季冻结融化后,不影响效果。
八、保质期
1年
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