CVD气相沉积炉
化学气相沉积炉应用领域
化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格
产品型号/规格W×H×L(mm)
|
600*600*1000
|
800*800*1200
|
1000*1000*1500
|
1200*1200*2500
|
1500*1500*3000
|
2500*2000*3600
|
装载重量(KG)
|
350
|
800
|
1500
|
2500
|
5000
|
10000
|
最高温度(℃)
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
温度均匀性(℃)
|
±7.5
|
±7.5
|
±7.5
|
±10
|
±10
|
±15
|
加热功率(kw)
|
250
|
360
|
480
|
600
|
900
|
1200
|
极限真空度(Pa)
|
20
|
20
|
20
|
20
|
20
|
20
|
压升率(Pa/h)
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
|
化学气相沉积炉主要配置
炉门炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子
料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
化学气相沉积炉技术特征
本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
